光氧等离子一体机是一套完整的工业废气处理装置，正面配有塔，能去除废气中的灰尘和水分。光氧等离子一体机阻挡放电产生高电子能量，达到普通等离子体技术1500倍，几乎所有气味气体分子，生产光氧等离子一体机的技术不是水洗技术应对工业废气技术，是通过等离子体直接击穿和直接轰击污染物，不是污染物的转移。
光氧等离子一体机自动化程度高，启动和停机非常快，配合使用带开，部分化工生产不连续，可在生产中开启，节省了大量的能量。光氧等离子一体机运行成本低，相比普通蓄热式燃烧炉RTO节省运行成本5-8倍，每立方米燃气运行成本仅0.3~0.9美分，部分废气可通过空气处理稀释技术。
光氧等离子一体机技术反应，通过反应区的气体速度可达3-15m/s，即达到良好的处理效果，其他工艺气体通过反应区的速度为0.01m/s很难达到效果，光氧等离子一体机适用范围基本不受空气中轻度污染物成分的影响。
