光氧等离子一体机可以与气体反应，并且可以异味，初级电子在电场中获得加速，直接撞击空气中的氧分子，氧分子离子化，失去电子的氧分子变成阳性氧离子，与氧结合形成阳性氧离子，这样就形成氧聚集的离子群。混合气体中有足够的氧气，与气体分子基团结合，产生洁净的低分子化合物。所以浓度过高的废气不太容易，如光氧等离子一体机处理废气时，应相应的补充一部分新鲜风以增加含氧量。
灯管发射的紫外线产生的光子所具有的能量，需要大于恶臭气体分子的分子键结合能，配置合适功率的光氧等离子一体机。光氧等离子一体机的裂解反应时间（＜0.01s），氧化反应时间需约2~3s，需氧化反应需控制好光解的进气条件，包括酸碱度、温度、湿度等，方可较高的高净化速率。
光氧等离子一体机可在很短的时间内将成分氧化分解为的产物和水，光氧等离子一体的结构特点是采用组合式结构设计简单，主要部件可方便拆卸，净化速率可达≥90%，前置过滤棉具隔尘，隔离过滤体积稍大的杂物，光氧等离子一体紫外线光束，去除臭味废气。
